气管翻新

气柜、RL、WL、RA老化气管翻新

皮带翻新

RL、WL老化皮带翻新

Stage翻新

1）X、Y丝杆保养及水平直角度的校正

2）导轨滑块的保养

3）Leveling电机及CT电机保养

4）HP干涉计电压校正

5）Halving Unit保养

6）Z电机及Theta电机保养

7）Chuck平坦度校正

8）Blind机构XR、XL、YU、YD Unit的保养和轨道清洁

Wafer loader翻新

1）载片台的导轨、丝杆保养，电机up/down的占空比信号校正

2）Fetch Arm原点校正及轨道、丝杆保养

3）载片台Fetch Arm取片电压信号调试

4）Silder Load/Unload 搬送状态确认

5）OF机构寻边信号的调试确认

6）Load/Unload 搬送状态确认

7）Loading Position位置的确认

Reticle loader翻新

1）Reticle loader各个传送导轨保养上油，传送马达的保养或更换

2）Reticle stage机构的保养清洁

3）掩模版搬送到Reticle stage上动作确认