Nikon NSR G线光刻机

• Nikon NSR G线步进式光刻机
• 光源波长436nm
• 分辨率优于0.65µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon NSR 1755/1505i7A/B

• Nikon NSR 1755/1505i7A/B步进式光刻机
• 光源波长365nm
• 分辨率优于0.6µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon NSR 2005i8A

• Nikon NSR 2005i8A步进式光刻机
• 光源波长365nm
• 分辨率优于0.5µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon NSR 2005i9C

• Nikon NSR 2005i9C步进式光刻机
• 光源波长365nm
• 分辨率优于0.45µm
• 用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon NSR 2005i10C

• Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机
• 光源波长365nm
• 分辨率优于0.45µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon NSR 2205i11D

• Nikon NSR 2205i11D步进式光刻机
• 光源波长365nm
• 分辨率优于0.4µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon NSR 2205i12D

• Nikon NSR 2205i12D步进式光刻机
• 光源波长365nm
• 分辨率优于0.4µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon NSR 2205i14E

• Nikon NSR 2205i14E步进式光刻机
• 光源波长365nm
• 分辨率优于0.35µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon SF120/130

• Nikon SF120/130步进式光刻机
• 光源波长365nm
• 分辨率优于0.28µm
• 主要用于6寸、8寸及12寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon EX12B

• Nikon EX12B步进式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.3µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon EX14C

• Nikon EX14C步进式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.25µm
• 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon S203B

• Nikon S203B扫描式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.2µm
• 主要用于4寸、6寸及8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon S204B

• Nikon S204B扫描式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.18µm
• 主要用于4寸、6寸及8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon S205C

• Nikon S205C扫描式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.15µm
• 主要用于8寸及12寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon S206D

• Nikon S206D扫描式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.12µm
• 主要用于8寸及12寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon S207D

• Nikon S207D扫描式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.11µm
• 主要用于8寸及12寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon S208D

• Nikon S208D扫描式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.11µm
• 主要用于8寸及12寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Nikon S308F

• Nikon S308F扫描式光刻机
• 光源波长193nm
• 分辨率优于0.07µm
• 主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Canon FPA3000 EX4

• Canon FPA3000 EX4步进式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.25µm
• 主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Canon FPA5000 ES3

• Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.18µm
• 主要用于6寸、8寸及12寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

Canon FPA5000 ES4

• Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机
• 光源波长248nm
• 分辨率优于0.13µm
• 用于6寸、8寸及12寸生产线
• 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域