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Canon FPA5000 ES4
Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.13µm
用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
光源波长248nm
分辨率优于0.13µm
用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
| 分辨率 | 0.13µm |
| N.A. | 0.5-0.8 |
| 曝光光源 | 248nm |
| 倍率 | 4:1 |
| 最大曝光现场 | 26mm*33mm |
| 对准精度 | 25nm |
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