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Nikon S308F
Nikon S308F扫描式光刻机
光源波长193nm
分辨率优于0.07µm
主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
光源波长193nm
分辨率优于0.07µm
主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
| 分辨率 | 0.07µm |
| N.A. | 0.92 |
| 曝光光源 | 193nm |
| 倍率 | 4:1 |
| 最大曝光现场 | 26mm*33mm |
| 对准精度 | 12nm |
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