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Nikon I线光刻机
Nikon I线光刻机采用365nm波长的光源，是半导体制造中用于精细图形转移的关键设备，主要机型包括NSR系列（步进投影式）与SF系列（扫描式），支持多种晶圆尺寸，在2寸、4寸、6寸、8寸及12寸晶圆片的生产上均有着广泛的应用，这使得它们可以服务于不同规模的半导体生产线，满足多样化的生产需求。
产品详情
| 主要机型及参数 | ||||||
| 型号 | 类型 | 分辨率 （μm） |
N.A. | 倍率 | 最大视场 （mm） |
套刻精度 （nm） |
| NSR4425i | 步进式 | 0.70 | 0.30 | 2.5:1 | 44*44 | 125 |
| NSR1505i7A | 0.65 | 0.45 | 5:1 | 15*15 | 140 | |
| NSR1755i7A | 0.60 | 0.50 | 5:1 | 17.5*17.5 | 140 | |
| NSR1755i7B | 0.55 | 0.54 | 5:1 | 17.5*17.5 | 140 | |
| NSR2005i8A | 0.50 | 0.50 | 5:1 | 20*20 | LSA: 120 FIA: 130 |
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| NSR2005i9C | 0.45 | 0.57 | 5:1 | 20*20 | LSA: 120 FIA: 130 |
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| NSR2005i10C | 0.45 | 0.57 | 5:1 | 20*20 | LSA: 100 FIA: 110 |
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| NSR2205i11D | 0.35 | 0.63 | 5:1 | 22*22 | LSA: 75 FIA: 80 |
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| NSR2205i12D | 0.35 | 0.63 | 5:1 | 22*22 | LSA: 60 FIA: 70 |
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| NSR2205i14E | 0.35 | 0.63 | 5:1 | 22*22 | LSA: 55 FIA: 65 |
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| NSR2205i14E2 | 0.35 | 0.63 | 5:1 | 22*22 | LSA: 55 FIA: 65 |
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| SF120 | 扫描式 | 0.28 | 0.62 | 4:1 | 26*33 | LSA: 40 FIA: 45 |
| SF130 | 0.28 | 0.28 | 4:1 | 26*33 | LSA: 40 FIA: 45 |
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