产品中心
Products Center
Nikon SF120/130
Nikon SF120/130步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.28µm
主要用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
光源波长365nm
分辨率优于0.28µm
主要用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
| 分辨率 | 0.28µm |
| N.A. | 0.62 |
| 曝光光源 | 365nm |
| 倍率 | 4:1 |
| 最大曝光现场 | 25mm*33mm |
| 对准精度 | LSA：40nm FIA：45nm |
更多服务
提供中英文软件及6"、8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材
更多型号设备，欢迎致电或继续浏览我们的网站！