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Nikon NSR 2005i10C
Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.45µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
光源波长365nm
分辨率优于0.45µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
| 分辨率 | 0.45µm |
| N.A. | 0.57 |
| 曝光光源 | 365nm |
| 倍率 | 5:1 |
| 最大曝光现场 | 20mm*20mm |
| 对准精度 |
LSA：100nm |
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